Vady elektromagnetických čoček
Stejně jako skleněné čočky, i elektromagnetické čočky vykazují stejné vady. Je to jeden z hlavních důvodů, proč se v praxi nedosahuje teoretické rozlišovací schopnosti.
Sférická vada - je neschopnost čočky zaostřovat všechny paprsky vycházející z bodového zdroje opět do jednoho bodu. Elektrony, procházející vnější částí čočky jsou zaostřovány do bodu, který leží blíž k čočce, než elektrony, které procházejí čočkou v těsné blízkosti optické osy (obr. 1). Praktickým důsledkem této vady je, že zvětšení v krajích obrazu je jiné než v jeho středu (obr. 2) Velikost sférické vady je závislá na ohniskové vzdálenosti čočky, a je tím větší, čím větší je tato vzdálenost. Omezuje se odstraněním okrajových paprsků pomocí clony.
Chromatická vada - vzniká v důsledku rozdílných energií elektronů ve svazku. Pomalejší elektrony s větší vlnovou délkou jsou v magnetickém poli cívek vychylovány jinak a protínají osu cívky v jiném bodě, než elektrony s vyšší rychlostí. Snížení chromatické vady je možné docílit zlepšením koherentnosti a monochromatičnosti elektronového svazku, čehož lze dosáhnout maximální stabilizací urychlovacího napětí mikroskopu. Odstranit zcela tuto vadu nelze, neboť ke změnám energie elektronů dochází při samotné interakci elektronů s preparátem a výrazně se tato vada projevuje v případě silnějších řezů.
Osový astigmatismus - je způsobený nesymetrií magnetického pole. V důsledku toho elektrony procházející čočkou v různých rovinách, mají různé ohnisko (obr. 3). Nejčastějším zdrojem astigmatismus jsou nečistoty na vnitřních plochách mikroskopu - pólových nástavcích čoček, clonách apod. Nečistoty, které jsou většinou elektricky nevodivé, se nabíjejí a svým rušivým elektrickým polem způsobují změny v drahách elektronů. Astigmatismus se v mikroskopu koriguje magnetickým polem stigmátoru, jehož nastavení se koriguje v případě SEM i několikrát denně. Dokonalá korekce je při větších zvětšeních v TEM nutnou podmínkou k získání uspokojivých výsledků.
|