Vakuový systém
Vnitřní prostor mikroskopu, ve kterém se pohybují elektrony musí být evakuovaný. Důvodem je snaha zabránit náhodným srážkám urychlených primárních elektronů s molekulami vzduchu, které by vedly ke změnám jejich energie a směru pohybu. Na dosáhnutí pracovního vakua minimálně 10-3 Pa musí být mikroskop vybaven dostatečně výkonnými vývěvami. Kvalitu vakua sleduje několik měrek a celý proces čerpání vzduchu je řízen automaticky.
Pro předčerpání zavzdušněného vnitřku mikroskopu nebo průchodové komory při výměně preparátů se používá rotační vývěva (obr. 1), která je schopna snížit tlak zhruba na hodnotu 10-1 Pa. Tím připraví podmínky nezbytné pro práci difúzní vývěvy (obr. 2), která cirkulací , tj odpařováním a zpětnou kondenzací speciálního oleje s nízkou tenzí par snižuje tlak na 10-3 Pa. Další zlepšení vakua, které je potřebné hlavně v oblasti elektronové trysky, přináší zařazení iontové vývěvy (obr. 3) do vakuového systému. Aby výčet zařízení používaných k evakuování mikroskopu byl úplný, je třeba ještě zmínit turbomolekulární pumpu a kryogenní pumpu.
I když vakuum v mikroskopu dosahuje běžně hodnot 10-4 Pa, dochází při pozorování preparátu k jeho kontaminaci. I při tomto vakuu se v tubusu mikroskopu nacházejí molekuly uhlovodíků, které se tam dostávají ze zahřátých olejů difúzních vývěv a těsnících tuků, a dále zbytky vodní páry. Při ozáření preparátu elektronovým svazkem se páry uhlovodíků adsorbují na jeho povrch a způsobují kontaminaci, která vede ke snížení kontrastu a rozlišovací schopnosti. K jejímu omezení se používá silné ochlazení nejbližšího okolí preparátu, kterého se dociluje pomocí antikontaminačního zařízení. To se skládá z antikontaminační komůrky s clonou, která obaluje preparát, chladovodu a Dewardovy nádoby s kapalným dusíkem umístěné mimo tubus mikroskopu (obr. 4). Při provozu se antikontaminační komůrka vychladí až na teplotu - 1500 C a v okolí preparátu se prudce sníží tenze uhlíkových i vodních par, které kondenzují na komůrce a cloně. Kontaminace preparátu tímto způsobem se sníží asi 100 krát. Po zahřátí antikontaminačního zařízení dojde k přechodnému zhoršení vakua v mikroskopu díky odpaření zkondenzovaných nečistot z komůrky a clony.
Celý mikroskop, součinnost všech jeho systémů u moderních současných mikroskopů zabezpečuje elektronický systém řízený počítačem se speciálním softwarem. Díky tomu je provoz mikroskopu velmi stabilizovaný, přechody mezi jednotlivými prohlížecími režimy snadné a jeho ovládání přístupné i nezkušeným uživatelům.
|