Obsah:
Trocha historie...
Proč elektrony?| Vakuový systém Celý vnitřní prostor tubusu a preparátové komory je v SEM vyčerpán na hodnotu vakua v závislosti na typu použitého elektronového zdroje. V případě přímo žhavené wolframové katody to znamená 10-2 až 10-3 Pa. K získání a udržení této hodnoty vakua obvykle postačí dvoustupňový čerpací systém, tvořený rotační a difúzní pumpou. Protože se při práci se SEM často vyměňují preparáty v komoře mikroskopu, je výhodné, pokud má mikroskop vakuovou propusť (obr. 1), která umožní výměnu bez zavzdušnění celé preparátové komory. Čerpání i zavzdušňování mikroskopu nebo jeho částí při výměně preparátu, katody nebo výměně clon provádí a kontroluje u současných přístrojů vakuová automatika. V posledních deseti letech se na trhu objevily tzv. nízkovakuové a environmentální skanovací elektronové mikroskopy (obr. 2), ve kterých je v preparátové komoře tlak umožňující pozorovat vzorky s obsahem vody 70, respektive až 90 %. Vnitřní prostor těchto mikroskopů je rozdělen do několika navzájem oddělených komor (obr. 3), které jsou čerpány na různé hodnoty tlaku, který klesá směrem od elektronového děla ke komoře preparátů. V nízkovakuových mikroskopech se potom ke tvorbě obrazu používají odražené elektrony, které mají dostatečnou energii a rychlost, aby v zaplyněném prostředí preparátové komory dorazily k detektoru. V environmentálním SEM se využívá k tvorbě obrazu sekundárních i odražených elektronů, které ionizují molekuly plynu v prostoru mezi vzorkem a detektorem a elektrony uvolněné při ionizaci přenáší signál dál do detektoru sekundárních elektronů (obr. 4). Cenou za možnost prohlížet zavodněné preparáty je snížená rozlišovací schopnost. Na (obr. 5), (obr. 6) a (obr. 7) je zobrazení rozsivky ve třech různých prohlížecích módech využívajících sekundární a odražené elektrony v environmentálním skanovacím elektronovém mikroskopu ESEM Philips 30 XL, které ukazuje, že v případě ionizačního detektoru se na tvorbě obrazu podílí jak sekundární, tak i odražené elektrony. |
 Předchozí |
Další  |
 Literatura | |
Obrázky | |
 |
Obr.1 - vakuová propusť SEM JEOL 6300 |
| Zpět | |
 |
Obr.2 - environmentální SEM Philips 30 XL ESEM |
| Zpět | |
 |
Obr.3 - schema rozdělení vnitřních prostor environmentálního SEM na oblasti s různým tlakem |
| Zpět | |
 |
Obr.4 - princip ionizačního detektoru - kladně nabité ionty uvzniklé ionizací molekul plynu sekundárními elektrony kompenzují záporný náboj na povrchu prepaprátu, který není nutné pokovovat |
| Zpět | |
 |
Obr.5 - snímek rozsivek získaný ve vysokovakuovém módu SEM Philips 30XL ESEM za použití detektoru sekundárních elektronů |
| Zpět | |
 |
Obr.6 - snímek rozsivek získaný v nízkovakuovém módu SEM Philips 30XL ESEM za použití detektoru odražených elektronů |
| Zpět | |
 |
Obr.7 - snímek rozsivek získaný v nízkovakuovém módu SEM Philips 30XL ESEM za použití ionizačního detektoru - z porovnání s předcházejícími snímky je zřejmé, že na tvorbě obrazu se podílejí jak odražené, tak sekundární elektrony |
| Zpět | |